离子注入装置、最终能量过滤器以及离子注入方法

摘要

本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的最终能量过滤器(400)具备入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)。最终能量过滤器(400)具备FEF电源部(414)，该FEF电源部构成为分别单独向入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)施加电压。FEF电源部(414)分别向上游辅助电极部(402)、偏转电极部(306)及下游辅助电极部(404)施加电压，以使上游辅助电极部(402)与偏转电极部(306)之间的第1区域中的离子束的能量范围和偏转电极部(306)与下游辅助电极部(404)之间的第2区域中的离子束的能量范围成为相同程度。

主权项

一种离子注入装置，其特征在于，具备：注入处理室，用于向被处理物照射具有目标能量的离子束；射束线出口部，配设在所述注入处理室的上游；及最终能量过滤器，配设在所述射束线出口部与所述被处理物之间，所述最终能量过滤器具备：第1调整电极部，配设在所述射束线出口部的下游，并调整所述离子束的射束形状；中间电极部，配设在所述第1调整电极部的下游，并使所述离子束偏转；第2调整电极部，配设在所述中间电极部的下游，并调整所述离子束的射束形状；及电源部，构成为分别单独向所述第1调整电极部、所述中间电极部及所述第2调整电极部施加电压，以在所述第1调整电极部与所述中间电极部之间进行所述离子束的减速、加速或等能量输送中的任意一个，并在所述中间电极部与所述第2调整电极部之间进行所述离子束的减速、加速或等能量输送中的任意一个，所述中间电极部具备：偏转电极部；上游辅助电极部，配设在所述第1调整电极部与所述偏转电极部之间；及下游辅助电极部，配设在所述偏转电极部与所述第2调整电极部之间，所述电源部构成为分别向所述上游辅助电极部、所述偏转电极部及所述下游辅助电极部施加电压，以使所述上游辅助电极部与所述偏转电极部之间的第1区域中的离子束的能量范围和所述偏转电极部与所述下游辅助电极部之间的第2区域中的离子束的能量范围成为相同程度。