一种外延片退火方法

摘要

本发明提供一种外延片退火方法，包括步骤：S1、提供一个外延片，在外延片的p型氮化物表面布置至少一个导电球，所述导电球与外延片的p型氮化物表面紧密接触，然后将导电球与退火炉内的低压交流电电极连接；S2、在退火炉内通入N₂和O₂的混合气体，将退火炉内的温度升到800-1000℃的高温状态；S3、打开退火炉传送门，将放置有外延片的载物台快速推进退火炉内并关闭，让外延片在通有交流电的短时间高温状态下完成退火；S4、将退火炉的温度降到450-650℃的低温状态，提高O₂在混合气体中所占的比例；S5、让外延片在通有交流电的低温状态下完成退火，然后将退火炉传送门打开，取出外延片。本发明能够使p层激活的程度大为提升，外延片的亮度和电学特性都得到改善。

主权项

一种外延片退火方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、提供一个外延片，在外延片的p型氮化物表面布置至少一个导电球，所述导电球与外延片的p型氮化物表面紧密接触，然后将导电球与退火炉内的低压交流电电极连接；S2、在退火炉内通入N₂和O₂的混合气体，将退火炉内的温度升到800‑1000℃的高温状态；S3、打开退火炉传送门，将放置有外延片的载物台快速推进退火炉内并关闭，让外延片在通有交流电的高温状态下完成退火，所述外延片在高温状态下退火的时间为30‑60秒；S4、将退火炉的温度降到450‑650℃的低温状态，提高O₂在混合气体中所占的比例；S5、让外延片在通有交流电的低温状态下完成退火，然后将退火炉传送门打开，取出外延片。