| 摘要 |
単結晶圧力センサ（１００）の状態を検定又は点検する方法（１５０）が提供される。この方法（１５０）は、印加された圧力で変化する少なくとも一つの電気特性を有し、第１の出力と第２の出力とに結合されている単結晶圧力センサ（１００）を提供することを含む。圧力センサ（１００）はまた、少なくとも一つの抵抗要素（１２２）をその中に有する。電流は、圧力センサ（１００）を加熱（１５２）するために該抵抗要素を通って印加される。圧力センサ（１００）の少なくとも一つの出力は、電流で誘起された熱に対する圧力センサ（１００）の応答を測定するためにモニタ（１５４）される。検定又は検査出力（verification output）が該応答に基づいて提供される（１５６）。 |
