发明名称 | 一种具有金属填充物结构的电感器 | ||
摘要 | 本发明提供一种具有金属填充物结构的电感器,所述金属填充物结构至少包括:与所述管脚基线等高的若干个金属块以及呈辐射状分布的若干条金属线;所述金属线一端与管脚基线连接实现接地,另一端聚拢在所述第一无金属分布的区域中部且不相交;所述金属块与所述金属线不接触。通过优化在电感器金属分布稀疏的区域形成的金属块的形状、大小和间隔,可以降低金属块的涡流效应,有效地升高了电感器的品质因子;在除顶层以外的其他金属层中形成呈辐射状分布的金属线,金属线一端接地,起到了屏蔽层的作用,有效的降低了金属填充物结构的涡流效应,大大升高了电感器的品质因子。 | ||
申请公布号 | CN104934408A | 申请公布日期 | 2015.09.23 |
申请号 | CN201410106306.5 | 申请日期 | 2014.03.20 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 何丹 |
分类号 | H01L23/522(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/522(2006.01)I |
代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
主权项 | 一种具有金属填充物结构的电感器,其特征在于,至少包括:底层矩形金属层、位于所述底层矩形金属层上的顶层矩形金属层、位于所述底层矩形金属层和顶层矩形金属层之间的至少一层中间矩形金属层,其特征在于,所述底层矩形金属层至少包括位于其四个顶角处的管脚以及连接所述管脚的管脚基线;所述管脚基线将相邻管脚连接以围成第一无金属分布的区域,所述第一无金属分布的区域内形成有金属填充物结构;所述金属填充物结构至少包括:与所述管脚基线等高的若干个金属块以及呈辐射状分布的若干条金属线;所述金属线一端与管脚基线连接实现接地,另一端聚拢在所述第一无金属分布的区域中部且不相交;所述金属块与所述金属线不接触。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |