用于标定分配器的方法和设备

摘要

一种标定分配器的方法，该分配器是具有配置成将材料分配在基板上的材料分配单元的这种类型的分配器，所述方法包括：提供一个带有板的称重器，所述板被配置成接收分配在所述板上的材料；在所述板上分配材料的一个或多个图案；称量分配在所述板上的材料的量，并且将称量的材料的量与指定的材料的量进行比较。分配材料的一个或多个图案的动作是复制在分配操作期间分配在所述基板上的材料图案的至少一部分。进一步公开了一种用于执行所述方法的控制器。

主权项

一种标定分配器的方法，该分配器是具有配置成将材料分配在基板上的材料分配单元的这种类型的分配器，所述方法包括：提供具有板的称重器，所述板配置成接收分配在所述板上的材料；将材料的一个或多个图案分配在板上；称量分配在所述板上的材料的量；并且将称量的材料的量与指定的材料的量进行比较，其中分配材料的一个或多个图案是复制在分配操作期间分配在所述基板上的材料的图案的至少一部分。