制备合成石英玻璃砣的沉积炉

摘要

本发明公开了一种制备合成石英玻璃砣的沉积炉，包括：炉体，所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成，所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛；燃烧器，设置于炉顶；基础杆，自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内，所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动，所述基础杆可以其轴线为旋转轴转动；沉积池，设于基础杆的顶部，与基础杆固定连接，所述沉积池由底面和侧壁围成，所述沉积池作为石英玻璃砣的沉积容器。本发明提高石英玻璃砣组分分布的一致性，生产出径向与轴向结构均匀的石英玻璃砣。

主权项

制备合成石英玻璃砣的沉积炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成，所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛；燃烧器，设置于炉顶；基础杆，自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内，所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动，所述基础杆可以其轴线为旋转轴转动；沉积池，设于基础杆的顶部，与基础杆固定连接，所述沉积池由底面和侧壁围成，所述沉积池作为石英玻璃砣的沉积容器。