| 主权项 |
一种形成微电机系统装置之方法，包括：于一第一基材上形成一微电机系统结构，其中该微电机系统结构包括一可移动元件和一相邻的静态元件；形成一环绕于该可移动元件之腔体；于形成一内连接结构之前，于一第二基材之一上表面形成一接触垫；于一第二基材上形成该内连接结构；于该内连接结构上沈积一第一介电层；以及接合该微电机系统结构于该第一介电层，其中该静态元件于该腔体内形成于一第一支撑柱，该第一支撑柱用以支撑该第二基材；薄化该第二基材之一背侧；于该第二基材之背侧形成一开孔，其中该开孔之一下表面邻接(adjoin)该接触垫；于该第二基材之该背侧以及该开孔内沈积一导电材料；以及图案化该导电材料以于该第二基材之该背侧上之该开孔以及该接触垫之间形成一通孔(via)。
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