光学放大器之气体介质的催化性转化技术;CATALYTIC CONVERSION OF AN OPTICAL AMPLIFIER GAS MEDIUM

摘要

一极紫外光系统系包括一光学放大器系统及一催化性转化系统。光学放大器系统的各光学放大器系包括一气体混合物形式之一增益介质，该增益介质生成一经放大的光束。光学放大器系统系包括一供气体混合物流过之流体输入及一流体输出。催化性转化系统系流体性连接至光学放大器系统的流体输出及光学放大器系统的流体输入。催化性转化系统系包括一催化性转化器，其包括一壳体；一位于壳体内的基材，其包括可供气体混合物流过之开口；及一催化剂，其作为一涂覆物被施加至基材的开口之内部表面，催化剂系包括金属粒子。金属粒子可为贵金属的奈米粒子。; a substrate within the housing including openings through which the gas mixture can flow; and a catalyst applied as a coating to the interior surfaces of the openings of the substrate, the catalyst including particles of metal. The particles of metal can be nanoparticles of precious metal.