一种非线性增强磁阻的磁传感器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种非线性增强磁阻的磁传感器件及其制备方法。该器件由半导体非线性单元和磁性单元复合制得。半导体的非线性形成一个快速的高低阻态转变的电阻变化，磁性单元中的反常霍尔效应使得这个高低阻态变化偏移，因此在特定的电流区间内，可以得到异常巨大的磁阻(>10⁴％)。另一方面，磁性薄膜材料的反常霍尔效应对小磁场(～mT)很敏感，所以该器件可以在很小的磁场下产生巨大的磁阻，磁灵敏度超过10⁵％/mT。该器件还具有特殊的磁电对称性，可以用来实现可编程的磁电逻辑运算。该器件价格低廉，制备工艺简单，是一种优异的磁传感器件，在未来的磁电子工业技术领域具有重大的潜在应用。

主权项

一种非线性增强磁阻的磁传感器件，其特征在于，由磁性材料单元和半导体非线性单元复合制得；所述磁性材料单元有4个电极，其中2个用于连接电流源，另外2个连接电压表；磁性材料单元与半导体非线性单元按照一定顺序连接。