远距离基准激光位移传感器及其测距方法

摘要

本发明揭示了一种远距离基准激光位移传感器，包括一激光发射器件及激光位移传感器，所述激光位移传感器包括光电阵列器件，所述光电阵列器件上开设有激光入射窗，所述激光发射器的发射端与所述光电阵列器件的激光入射窗相对，所述光电阵列器件于激光入射窗的一端设置有一光学暗腔，所述激光位移传感器与处理器电性连接，所述处理器包括一A/D信号转换处理器。本发明设备结构新颖，且适用于远程距离的检测，检测精度高达1-2um，通过添加柱面透镜适用于不同的检测，检测范围广泛。滤光组件的添加适合于不同环境下的光照亮度。

主权项

一种远距离基准激光位移传感器，包括一激光发射器件及激光位移传感器，其特征在于：所述激光位移传感器包括光电阵列器件，所述光电阵列器件上开设有激光入射窗，所述激光发射器的发射端与所述光电阵列器件的激光入射窗相对，所述光电阵列器件于激光入射窗的一端设置有一光学暗腔，所述激光位移传感器与处理器电性连接，所述处理器包括一A/D信号转换处理器。