| 发明名称 | 掩膜装置及掩膜系统 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开一种掩膜装置及掩膜系统。掩膜装置包括滚筒掩膜版及置于滚筒掩膜版内的光源组件。滚筒掩膜版的外表面上设置有掩膜图案，光源组件的外表上设置有光源。在光源的照射下，滚筒掩膜版在玻璃基板上滚过时，可在玻璃基板的感光材料上形成掩膜图案。本发明在不需要制作大面积掩膜板的情况下，可在大面积的玻璃基板的感光材料上形成掩膜图案，从而节省成本。 | ||
| 申请公布号 | CN104880907A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201510308594.7 | 申请日期 | 2015.06.08 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 曾杰;李安石 |
| 分类号 | G03F1/50(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/50(2012.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置包括滚筒掩膜版及置于所述滚筒掩膜版内的光源组件，所述滚筒掩膜版的外表面上设置有掩膜图案，所述光源组件的外表上设置有光源，在所述光源的照射下，所述滚筒掩膜版在玻璃基板上滚过时，可在所述玻璃基板的感光材料上形成所述掩膜图案。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||