发明名称 用于非贵金属接合搭接垫的薄NiB或CoB封盖层
摘要 本发明涉及一种基板,该基板具有至少一个主表面,所述主表面包括被封盖层覆盖的至少一个非贵金属接合搭接垫,从而将非贵金属接合搭接垫从环境掩蔽开来。该封盖层包括合金,合金是NiB或CoB并且含有原子浓度百分率为10-50%的硼。
申请公布号 CN104882429A 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201510093579.5 申请日期 2015.03.02
申请人 IMEC 非营利协会 发明人 E·贝内;J·德 沃斯;J·德拉克山得;L·英格兰;G·瓦喀纳斯
分类号 H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L23/498(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 张静;王颖
主权项 一种基板(1),所述基板具有至少一个主表面(11),所述主表面包括至少一个非贵金属接合搭接垫(2),所述非贵金属接合搭接垫覆盖有封盖层(3),从而将所述非贵金属接合搭接垫(2)从环境屏蔽开;其特征在于,所述封盖层(3)包括合金,所述合金是NiB或CoB并且含有原子浓度百分率为10‑50%的硼。
地址 比利时勒芬