发明名称 |
用于非贵金属接合搭接垫的薄NiB或CoB封盖层 |
摘要 |
本发明涉及一种基板,该基板具有至少一个主表面,所述主表面包括被封盖层覆盖的至少一个非贵金属接合搭接垫,从而将非贵金属接合搭接垫从环境掩蔽开来。该封盖层包括合金,合金是NiB或CoB并且含有原子浓度百分率为10-50%的硼。 |
申请公布号 |
CN104882429A |
申请公布日期 |
2015.09.02 |
申请号 |
CN201510093579.5 |
申请日期 |
2015.03.02 |
申请人 |
IMEC 非营利协会 |
发明人 |
E·贝内;J·德 沃斯;J·德拉克山得;L·英格兰;G·瓦喀纳斯 |
分类号 |
H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/498(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
张静;王颖 |
主权项 |
一种基板(1),所述基板具有至少一个主表面(11),所述主表面包括至少一个非贵金属接合搭接垫(2),所述非贵金属接合搭接垫覆盖有封盖层(3),从而将所述非贵金属接合搭接垫(2)从环境屏蔽开;其特征在于,所述封盖层(3)包括合金,所述合金是NiB或CoB并且含有原子浓度百分率为10‑50%的硼。 |
地址 |
比利时勒芬 |