| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용하는 인라인 히터에서 용기 내부의 약품 온도가 설정 온도 이상으로 상승할 경우 즉시 전열선 전원을 차단할 수 있는 온도퓨즈 조립체에 관한 것으로, 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체를, 온도퓨즈의 양측 도체단자와 리드와이어의 선단 피복이 제거되어 노출된 도체를 상기 온도퓨즈의 양측 도체에 연결한 접합부와, 상기 온도퓨즈 양측의 상기 접합부, 상기 리드와이어의 노출된 도체, 상기 리드와이어의 노출된 도체에 인접한 리드와이어 피복 및 상기 온도퓨즈 도체단자에 이들을 모두 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제1보호층과, 상기 온도퓨즈 양측에 연결된 리드와이어가 동일한 방향으로 진행하도록 온도퓨즈 도체 중 하나를 절곡한 상태에서 상기 온도퓨즈 양측에 연결된 리드와이어의 제1보호층 외부에 삽입한 스테인레스관과, 상기 온도퓨즈, 스테인레스관 및 상기 스테인레스관 밖에 노출된 상기 제1보호층의 외부에 제2불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제2보호층을 포함하여 구성함을 특징으로 한다.</p> |
