高纯气体用电感式纯化器系统

摘要

本实用新型涉及气体纯化设备领域，具体涉及一种高纯气体用电感式纯化器系统，包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，气体管道依次连接第一吸附罐、冷却器、分离器和第二吸附罐，两个吸附罐的外面均套有线圈，吸附罐和线圈之间设有保温层，两个吸附罐的保温层上均设有测温元件，第一吸附罐和第二吸附罐内为填料区，第一吸附罐的填料区分为上、下两层，下层填装硅胶，上层填装脱氧剂，第二吸附罐内的填料区填装分子筛，该系统结构简单，实现脱氧、干燥，纯化效果好，运行稳定，自动控制程度高。

主权项

一种高纯气体用电感式纯化器系统，包括气体管道和吸附罐，吸附罐上设有进气口和出气口，其特征在于：气体管道依次连接第一吸附罐(4)、冷却器(5)、分离器(6)和第二吸附罐(7)，两个吸附罐的外面均套有线圈(10)，线圈(10)连接控制柜(11)，吸附罐和线圈(10)之间设有保温层(1)，两个吸附罐的保温层(1)上均设有测温元件；第一吸附罐(4)和第二吸附罐(7)内为填料区，第一吸附罐(4)的填料区分为上、下两层，下层填装硅胶(2)，上层填装脱氧剂(3)，第二吸附罐(7)内的填料区填装分子筛(8)。