发明名称 成膜方法及び成膜装置
摘要
申请公布号 JP5769857(B2) 申请公布日期 2015.08.26
申请号 JP20140194494 申请日期 2014.09.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/22;C23C14/24;C23C14/48 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
地址