| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조공정에서 발생하는 유해가스의 처리 촉매에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 배기가스 중에 포함된 촉매 피독 물질에 대한 내구성이 향상된 촉매에 관한 것이다. 무기물 담체와 페롭스카이트형 복합산화물이 혼합된 혼합 무기물 담체와, 상기 혼합 무기물 담체에 담지된 귀금속성분을 포함하고, W, Mn, Cu, Zn 중에서 선택된 전이금속의 산화물 1종 이상이 상기 혼합 무기물 담체의 표면에 코팅된 촉매에 의해서, 반도체 제조공정 중의 유해 폐가스를 처리함에 있어 축열연소공정 후단에서 발생하는 미제거 악취 유해가스를 높은 효율로 처리할 수 있으며, 상기 미제거 악취 유해가스에 포함된 실란계, 할로겐계, 황화합물계 등의 촉매 피독 물질에도 높은 내구성을 지닌 촉매를 제공함으로써 촉매의 교체 주기를 연장하여 폐가스 처리의 경제성을 제고한다.</p> |
