三区域承载头和柔性膜

摘要

一种用于化学机械抛光机的承载头的柔性膜，所述柔性膜包括主要部分、环形外围部分及三个环形挡板。所述主要部分具有基板安装表面，所述基板安装表面具有半径R。所述环形外围部分从所述主要部分的外围边缘向上延伸，且所述环形外围部分具有连接至所述主要部分的下边缘及上边缘。所述三个环形挡板包括第一环形挡板、向内延伸的第二环形挡板及向内延伸的第三环形挡板，所述第一环形挡板在介于R的75％与R的95％之间的径向位置处连结至所述主要部分的内围表面，所述第二环形挡板在介于所述下边缘与所述上边缘之间的位置处连结至所述环形外围部分，所述第三环形挡板连结至所述环形外围部分的上边缘。

主权项

一种柔性膜，所述柔性膜用于化学机械抛光机的承载头，所述柔性膜包括：主要部分，所述主要部分具有用以提供基板安装表面的下表面，所述基板安装表面具有半径R；环形外围部分，所述环形外围部分从所述主要部分的外围边缘向上延伸，所述环形外围部分具有下边缘，所述下边缘连接至所述主要部分及上边缘；及刚好三个环形挡板，在将所述柔性膜固定至承载头时，所述三个环形挡板用以将所述主要部分上方的容积分割为多个腔室，所述三个环形挡板包括：第一环形挡板，所述第一环形挡板在介于R的75％与R的95％之间的径向位置处连结至所述主要部分的内围表面；第二环形挡板，所述第二环形挡板在介于所述下边缘与所述上边缘之间的位置处连结至所述环形外围部分，所述第二环形挡板从所述外围环形部分向内延伸；及第三环形挡板，所述第三环形挡板连结至所述环形外围部分的所述上边缘，所述第三环形挡板从所述外围环形部分向内延伸。