氯硅烷废液的净化回收装置及氯硅烷废液的净化回收方法

摘要

本发明提供了一种氯硅烷废液的净化回收装置及氯硅烷废液的净化回收方法。该净化回收装置包括：过滤单元，包括一个或多个并联设置的过滤器，各过滤器设置有氯硅烷废液入口，氯硅烷废液通过各过滤器后得到固体渣和过滤液，且过滤器的底部设置有固体渣出口，过滤器的顶部设置有过滤液出口；提纯塔，提纯塔的入口与过滤液出口相连通，过滤液通过提纯塔后得到氯硅烷液体和提纯后残余液，提纯塔的底部设置有提纯后残余液出口，提纯塔的顶部设置有氯硅烷液体出口，提纯后残余液出口与氯硅烷废液入口相连通。整个系统操作、运行可靠，氯硅烷回收率高，纯度高，而且在节能降耗、环保方面有显著的效果。

主权项

一种氯硅烷废液的净化回收装置，其特征在于，所述净化回收装置包括：过滤单元，包括一个或多个并联设置的过滤器(2)，各所述过滤器(2)设置有氯硅烷废液入口(3)，所述氯硅烷废液通过各所述过滤器(2)后得到固体渣和过滤液，且所述过滤器(2)的底部设置有固体渣出口(5)，所述过滤器(2)的顶部设置有过滤液出口(12)；提纯塔(7)，所述提纯塔(7)的入口与所述过滤液出口(12)相连通，所述过滤液通过所述提纯塔(7)后得到氯硅烷液体和提纯后残余液，所述提纯塔(7)的底部设置有提纯后残余液出口，所述提纯塔(7)的顶部设置有氯硅烷液体出口(8)，所述提纯后残余液出口与所述氯硅烷废液入口(3)相连通。