内置式CCD安防监控滤光片的制备方法

摘要

本发明公开了一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，包括如下步骤：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；将步骤2所得玻璃基片进行干燥；在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品。本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制，使之能满足CCD安防监控用的光学性能要求，切换速度快，能耗低，使用寿命长的要求。

主权项

内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm‑60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；步骤2：步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；步骤3：将步骤2所得玻璃基片进行干燥；步骤4：在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；步骤5：将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；步骤6：将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；步骤7：对成品进行清洗、检验，最后包装入库。