一种约束磨粒流的超精密加工装置

摘要

一种约束磨粒流的超精密加工装置，包括抛光工具头、供料装置、回收底座和运动执行机构，抛光工具头中，护套套装在喷嘴的安装台阶上，喷嘴与抛光头管座固定连接，弹簧套装在喷嘴上并压紧护套，护套和喷嘴配合面上开有密封槽，护套为由对磨粒磨损不敏感的弹性材料制成的护套，喷嘴中心打通孔，抛光头管座内设有供磨粒流流入的通道，抛光头管座固定在安装板上，激光位移传感器固定在抛光头管座的一侧，安装板与运动执行机构连接；回收底座中心为安装工件的凸台，凸台四周有磨粒流回收槽，回收槽外围有一圈磨粒流挡板，磨粒流挡板高于工件上表面，回收槽内有磨粒流回收出口。本发明精度高、加工效率高、损伤小、成本低。

主权项

一种约束磨粒流的超精密加工装置，其特征在于：包括抛光工具头、供料装置、回收底座和运动执行机构，所述抛光工具头包括喷嘴、护套、安装板、抛光头管座、弹簧和激光位移传感器，所述护套套装在喷嘴的安装台阶上，所述喷嘴与抛光头管座固定连接，所述弹簧套装在喷嘴上并压紧护套，所述护套和喷嘴配合面上开有密封槽，所述护套为由对磨粒磨损不敏感的弹性材料制成的护套，所述喷嘴中心打通孔，所述抛光头管座内设有供磨粒流流入的通道，所述抛光头管座固定在安装板上，所述激光位移传感器固定在抛光头管座的一侧，所述安装板与运动执行机构连接；所述回收底座中心为安装工件的凸台，所述凸台四周有磨粒流回收槽，所述回收槽外围有一圈磨粒流挡板，所述磨粒流挡板高于工件上表面，所述回收槽内有磨粒流回收出口。