发明名称 | 负型感光性树脂组合物 | ||
摘要 | 本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物,尤其涉及一种包含a)i)丙烯酸类共聚物、ii)聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物;b)光引发剂;c)特定结构的吖啶类光敏剂(Photosensitizer)的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物,其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀,尤其在405nm~435nm的UV长波长中敏感度优秀,因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。 | ||
申请公布号 | CN103052916B | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
申请号 | CN201180037435.8 | 申请日期 | 2011.07.15 |
申请人 | 株式会社东进世美肯 | 发明人 | 吕泰勋;金炳郁;尹赫敏;丘冀赫;尹柱豹;金东明;申洪大;金珍善;李相勋;禹昌旼 |
分类号 | G03F7/075(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/028(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/075(2006.01)I |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;於毓桢 |
主权项 | 一种负型感光性树脂组合物,包含:a)丙烯酸类共聚物、聚酰亚胺类共聚物、硅氧烷类共聚物或者它们的共聚物100重量份,b)光引发剂0.1重量份至30重量份,及c)由下面化学式1表示的光敏剂0.1重量份至30重量份;<img file="FDA0000658119630000011.GIF" wi="788" he="750" />所述化学式1中,n为1‑10的整数;所述b)的光引发剂为由2‑(o‑氯苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2‑(o‑氯苯基)‑4,5‑二(m‑甲氧基苯基)咪唑二聚体、2‑(o‑氟苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2‑(o‑甲氧基苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2,4‑双(p‑甲氧基苯基)‑5‑苯基咪唑二聚体、2‑(2,4‑二甲氧基苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、2‑(p‑甲基巯基苯基)‑4,5‑二苯基咪唑二聚体、[1‑[9‑乙基‑6‑(2‑甲基苯甲酰基)‑9H‑咔唑‑3‑基]‑1‑(O‑乙酰肟)构成的群中所选择的一种以上。 | ||
地址 | 韩国仁川广域市 |