涂布方法及涂布装置

主权项

一种涂布方法，系为对于基板供给涂布液并形成涂布膜之方法，其特征为，包含有：将基板略水平地保持在基板保持部之工程；和接下来，一面将涂布喷嘴之吐出口在相对于前述基板而接近了的状态下来相对性地移动，一面从前述吐出口来藉由毛细管现象而将涂布液拉出并涂布在基板上之工程；和接着，以不会使基板上之涂布液从基板而飞散的旋转数来使该基板旋转之工程。