一种超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统

摘要

本发明提供了一种超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统，它包括两块掠入射曲面X光光学器件，分别命名为第一光学器件和第二光学器件，第一光学器件和第二光学器件的光轴正交，由物点发出的X光经过第一光学器件反射，在子午方向实现聚焦形成准单色化的一维图像，再经过第二光学器件在弧矢方向实现分光并聚焦，形成高单色化的二维图像，最后成像到记录介质上。本发明的超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统具有空间分辨高，能量分辨好，像差小的特点，很好的克服了传统X射线显微镜的缺点。

主权项

一种超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统，其特征在于：包括两块掠入射曲面X光光学器件，分别命名为第一光学器件和第二光学器件，第一光学器件和第二光学器件的光轴正交，由物点发出的X光经过第一光学器件反射，在子午方向实现聚焦形成准单色化的一维图像，再经过第二光学器件在弧矢方向实现分光并聚焦，形成高单色化的二维图像，最后成像到记录介质上。