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发明名称 用于暂时性晶圆结合之环烯烃组成物
摘要
申请公布号 TWI494398 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW102131596 申请日期 2009.10.27
申请人 布鲁尔科技公司 发明人 洪文斌;白东顺;福雷　托尼Ｄ;普利加达　拉玛
分类号 C09J145/00;C09J5/00;C09J11/00;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 C09J145/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种晶圆结合方法，其包含：将一包含溶解或分散于溶剂系统中之环烯烃共聚物的结合组成物藉由旋涂涂布于一第一基板或一第二基板上以形成一结合层，该结合层为在高达约350℃下具热稳定性之该组成物形成之在整个厚度上皆均匀的材料；及藉由该结合层结合该第一与第二基板。
地址 美国
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