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经营范围
发明名称
在介电层上施行无电电镀用之活化溶液
摘要
申请公布号
TWI494164
申请公布日期
2015.08.01
申请号
TW097149699
申请日期
2008.12.19
申请人
兰姆研究公司
发明人
寇力克斯 亚图
分类号
B01J31/16;B01J31/18;C23C18/18
主分类号
B01J31/16
代理机构
代理人
许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项
一种使无电沉积用之氧化物表面活化的溶液,其中该氧化物表面已被图案化以用于金属镶嵌雕刻金属化层,该溶液包含:一水溶性溶剂;一基于金属的触媒;一结合剂,具有至少一能够与已被图案化以用于金属镶嵌雕刻金属化层之该氧化物表面形成一化学键的官能基,并具有至少一能够与该触媒形成一化学键的金属结合官能基;及水。
地址
美国
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