| 摘要 |
<p>基材を搬送しながら、高耐久性のフッ素含有有機ケイ素化合物薄膜を連続的に成膜できる製造装置および製造方法を提供する。チャンバーと、成膜原料を加熱する加熱容器と、チャンバー内に設けられ、加熱容器と接続され、基材に成膜原料を供給する複数のノズルと、基材を搬送する基材搬送機構とを備え、複数のノズルは基材の搬送方向を横断するようにライン状に配置されており、成膜原料のフッ素含有有機ケイ素化合物は溶媒除去処理済みか、非希釈であるフッ素含有有機ケイ素化合物薄膜の製造装置、及び溶媒除去処理済みか、非希釈のフッ素含有有機ケイ素化合物を加熱容器で加熱し、チャンバー内に設けられ、加熱容器と接続され、基材の搬送方向を横断するようにライン状に配置された複数のノズルから成膜原料を供給し、基材を搬送しながら基材の被成膜面に成膜するフッ素含有有機ケイ素化合物薄膜の製造方法を提供する。</p> |
