Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung einer Probenoberfläche

摘要

Verfahren zur Abbildung einer OberfIäche, einer Probe (16) mit einer Topographie der Oberfläche mit Hilfe konfokaler Mikroskopie in im Wesentlichen einer konfokalen Ebene, dadurch gekennzeichnet, dass Werte für die Topographie der Oberfläche mit Hilfe eines optischen, berührungslosen Oberflächentopographie-Sensors bestimmt werden und mit Hilfe der Werte für die Topographie der Oberfläche die abzubildende Fläche beim Rastern in die konfokale Ebene verbracht wird.