声表面波器件及其制备方法

摘要

本发明提供一种声表面波器件，包括压电基底、声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面接收器相对设置在压电基底上，所述声表面波发生器用于产生声表面波，所述声表面波接收器用于接收声表面波发生器产生的声表面波，所述声表面波发生器及声表面波接收器的材料为石墨烯。本发明的优点在于：在不改变现有的声表面波器件工作模式的前提下，能够适应高频、大功率声表面波器件，具有更强的功率承受力和机械承受力；能够减少对声波阻抗的影响，获得更高的灵敏度，可适应高频滤波的需求；增强声表面波器件的散热性能，延长声表面波器件的使用寿命，提高器件的工作稳定性；声表面波器件更容易进行刻蚀和加工。

主权项

一种声表面波器件，包括压电基底、声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面接收器相对设置在压电基底上，所述声表面波发生器用于产生声表面波，所述声表面波接收器用于接收声表面波发生器产生的声表面波，其特征在于，所述声表面波发生器及声表面波接收器的材料为石墨烯。