| 摘要 |
온도 제어 장치(3)는, 순환 유체를 냉각, 가열하고, 챔버와의 사이에서 순환 유체를 순환시키는 순환 냉각 가열부(5)와, 순환 유체의 온도를 조정하여 챔버의 온도를 목표 온도로 제어하는 제어부(6)와, 이들이 수용되는 하우징(7)을 구비하고, 하우징(7) 내에는, 순환 냉각 가열부(5) 배치용의 순환실(46)과, 제어부(6) 배치용의 제어실(47)이 동일 평면 상에 설치되고, 순환실(46)에는, 순환 유체를 저류하는 탱크(10), 순환 유체를 순환시키는 펌프(20), 순환 유체를 냉각시키는 열교환기, 및 순환 유체를 가열하는 가열 수단이 배치되고, 제어실(47)에는, 펌프(20)의 구동을 제어하는 인버터(31), 및 가열 수단의 온 또는 오프를 전환하는 SSR이 배치된다. |
