| 发明名称 | 六自由度微动装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种六自由度微动装置，包括：上、下背板、设置在所述上、下背板之间且间隔设置的水平向音圈电机和垂向音圈电机，所述水平向音圈电机和垂向音圈电机均采用PCB线圈，使得微动装置的多个音圈电机结构尺寸更加接近设计值，从而减小了因结构尺寸与设计值存在偏差而导致的推力波动与推力干扰。由于PCB线圈的工艺限制，使微动装置中电机在同等条件下相对于漆包绕制的传统电机推力常数小，减少额为30%左右。 | ||
| 申请公布号 | CN104795920A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201410025032.7 | 申请日期 | 2014.01.20 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 段素丙;陈庆生;季汉川;刘小虎;池峰;胡兵 |
| 分类号 | H02K3/26(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | H02K3/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种六自由度微动装置，包括：上、下背板、设置在所述上、下背板之间且间隔设置的水平向音圈电机和垂向音圈电机，所述水平向音圈电机和垂向音圈电机均采用PCB线圈。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||