发明名称 感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜和具有固化膜的元件
摘要 感光性硅氧烷组合物,其含有(a)通过使通式(1)所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物。(式(1)中,R<sup>1</sup>表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的烯基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R<sup>1</sup>可以分别相同或不同,R<sup>2</sup>表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R<sup>2</sup>可以分别相同或不同,n表示0~3的整数。)(式(2)中,R<sup>3</sup>~R<sup>6</sup>分别独立地表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,p表示2~10的整数。)可以提供能够得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。<img file="2011800282708100004dest_path_image001.GIF" wi="280" he="40" /><img file="2011800282708100004dest_path_image002.GIF" wi="264" he="112" />。
申请公布号 CN102918460B 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201180028270.8 申请日期 2011.06.02
申请人 东丽株式会社 发明人 妹尾将秀;藤原健典;福原将;诹访充史;山本荣悟;內田圭一
分类号 G03F7/075(2006.01)I;C08K3/28(2006.01)I;C08L83/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I 主分类号 G03F7/075(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 蔡晓菡;孟慧岚
主权项 感光性硅氧烷组合物,其含有(a)通过使通式(1)所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物,[化1]<img file="671124dest_path_image001.GIF" wi="490" he="53" />上式(1)中,R<sup>1</sup>表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的烯基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R<sup>1</sup>可以分别相同或不同,R<sup>2</sup>表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,多个R<sup>2</sup>可以分别相同或不同,n表示0~3的整数;[化2]<img file="588264dest_path_image002.GIF" wi="490" he="117" />上式(2)中,R<sup>3</sup>~R<sup>6</sup>分别独立地表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~6的酰基、碳原子数为6~15的芳基的任一者,p表示2~10的整数。
地址 日本东京都