| 摘要 |
<p>개시된 프로브 어셈블리는 프로브와 가이드를 구비한다. 프로브는 프로브 기판의 패드 상에 위치하는 고정부와, 상기 고정부에 기립 구조로 연결되고, 상기 고정부와 연결되는 부분의 면적은 상기 고정부보다 작은 면적을 갖는 기둥부와, 상기 기둥부에 켄틸레버 구조로 연결되고, 상기 기둥부와 연결되는 부분은 단차를 갖는 빔부, 그리고 상기 빔부의 일단에 기립 구조로 연결되고, 전기 검사를 수행할 때 피검사체와 접촉하는 접촉부를 포함한다. 가이드는 그 일면은 상기 고정부와 면접하면서 상기 일면에 대향하는 타면은 상기 빔부의 표면을 노출시킴과 아울러 상기 접촉부를 돌출시키는 관통홀을 갖고, 상기 관통홀에 상기 기둥부와 빔부가 삽입됨에 의해 상기 프로브를 지지한다.</p> |
