发明名称 Conveyance mechanism for article being processed and film forming apparatus using the same
摘要 <p>원기둥형 슬라이드 샤프트를 하부에 구비하고 피처리체를 운반하는 반송 부재와, 상기 슬라이드 샤프트와 접하여 상기 반송 부재를 유도하는 U자형 홈부를 구비한, 복수의 롤러로 이루어진 지지 부재를 구비하는 피처리체의 반송 기구로서, 상기 슬라이드 샤프트 및 상기 롤러 중 한쪽의 적어도 접촉부가, 실리콘, 알루미늄, 산소, 질소를 포함한 벌크체로 구성되고, 상기 슬라이드 샤프트 및 상기 롤러 중 다른 쪽의 적어도 접촉부가 스테인리스강으로 구성되어 있다.</p>
申请公布号 KR101537249(B1) 申请公布日期 2015.07.17
申请号 KR20137018513 申请日期 2011.10.28
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;C23C14/50;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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