铋同步催化生长和掺杂p-型硒化锌纳米线的方法

摘要

本发明公了一种铋同步催化生长和掺杂p-型硒化锌纳米线的方法，属于纳米半导体材料制备和掺杂技术领域。本发明采用化学气象沉积方法，利用气-液-固生长机理，首先将纯度≥99.9％的硒化锌粉末置于水平管式炉的中部，将纯度≥99.9％的铋粉置于水平管式炉的前部，将生长衬底置于水平管式炉的后部，引入流量为85sccm的氩氢混合气作为载气并使炉内气压保持在20000-30000Pa。升温至1050℃并保温1h后降至室温。沉积衬底上生长出p-型硒化锌纳米线。该方法实现了硒化锌纳米线的同步生长和掺杂，避免了传统金催化生长过程中的杂质原子引入，简化了硒化锌纳米线的生长和掺杂工艺，降低了成本，且易于操作。

主权项

铋同步催化生长和掺杂p‑型硒化锌纳米线的方法，其特征在于：将质量为0.01‑0.1g纯度为99.9％的铋粉盛入瓷舟放置在水平管式炉前部，将盛有0.3g纯度为99.9％的硒化锌粉末的瓷舟放置与水平管式炉中部即加热源处，将沉积衬底放置在水平管式炉的后部。密闭炉体，抽真空至4.5×10^‑3Pa后，以85sccm的速率通入氩氢混合气(氩气和氢气的体积比为95∶5)作为载气，并使炉体内部气压保持在20000‑30000Pa。升温至1050℃，保温1h后使炉体自然降温至室温，沉积衬底上生长出黄褐色的p‑型硒化锌纳米线。