扫描电镜试样的高精度制备方法

摘要

本发明公开了一种扫描电镜试样的高精度制备方法，包括以下步骤：S1）制备多个金属圆锥件，把多个金属圆锥件均匀设置在试样截面的周边；S2）磨削试样，测量试样断层截面上各个金属圆锥件椭圆形截面的长轴与短轴长度，通过不断磨削使最终各个金属圆锥件椭圆形截面的长轴与短轴之比达到1:1；S3）运用立体几何方法计算出其磨削的距离；S4）重复以上的磨削与测量计算，最终获得平整断层截面与特定距离层面的试样。本发明的扫描电镜试样的高精度制备方法，其制备过程的测量与计算简单方便，加工工艺简单，控制手段可靠有效。另外，本发明的方法中采用金属圆锥件代替具有菱形锥凹槽的L形钢块，降低了试样的制作成本。

主权项

一种扫描电镜试样的高精度制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1)制备多个金属圆锥件(1)，把多个金属圆锥件(1)均匀设置在试样(2)截面的周边，金属圆锥件(1)直径大的一端朝向需要磨削的截面；S2)磨削试样(2)，试样磨削过程中，测量试样断层截面上各个金属圆锥件(1)椭圆形截面的长轴与短轴长度，从而根据实际情况作出判断调整，通过不断磨削使最终各个金属圆锥件椭圆形截面的长轴与短轴之比达到1:1；S3)当试样上金属圆锥件(1)椭圆形截面的长轴与短轴之比达到1:1时，通过测得的金属圆锥件(1)的截面半径与原始金属圆锥件(1)的半径，运用立体几何方法计算出其磨削的距离；S4)重复步骤S2与S3中的磨削与测量计算，最终获得平整断层截面与特定距离层面的扫描电镜试样。