| 摘要 |
<p>[과제] 피세정물을 세정할 때에 사용하는 세정액의 양을 줄이는 것을 과제로 한다. [해결수단] 초음파 진동자(11)와, 상기 초음파 진동자와 접촉해서 설치된 저액부(12)와, 상기 저액부 내로 세정액(13)을 유입시키는 유입구(12a)와, 상기 저액부 밖으로 상기 세정액을 유출시키는 유출구(12b)를 구비하고, 상기 초음파 진동자가 상기 세정액과 접촉하는 접촉면(11a)은 상기 유입구 및 상기 유출구 각각보다 낮게 배치되어 있는 초음파 세정 장치이다.</p> |
