激光脉冲调制装置

摘要

本发明提供一种激光脉冲调制装置，其包括第一激光源、第二激光源以及偏振分光镜；第一激光源用于产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光，第二激光源用于产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光，偏振分光镜用于对第一线偏振脉冲激光和第二线偏振脉冲激光进行叠加，以形成第一整合脉冲激光。本发明的激光脉冲调制装置使用双激光源形成功率及脉冲宽度合适的整合激光脉冲，提高了激光退火过程中的可调制性,增加工艺中加工余量。

主权项

一种激光脉冲调制装置，其特征在于，包括：第一激光源，用于产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光；第二激光源，用于产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光；以及偏振分光镜，用于对所述第一线偏振脉冲激光和所述第二线偏振脉冲激光进行叠加，以形成第一整合脉冲激光；其中所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第一线偏振脉冲激光的脉冲宽度，所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第二线偏振脉冲激光的脉冲宽度。