微影装置及侦测装置

主权项

一种侦测装置，其包含：一侦测器，其具有一顶部表面；一闪烁材料层，其经设置于该侦测器之该顶部表面上；设置于该闪烁材料层上之一间隔材料层；及设置于该间隔材料层上之一光谱纯度滤光器层。