層を形成する方法

摘要

層を形成する方法であって、当該方法は、その上への堆積に適合化された少なくとも１つの表面を有する基板を供給することと、基板の表面に向かって粒子ビームを送ることとを含み、前記粒子ビームは、適度に荷電したイオン（ＭＣＩ）を含み、実質的にすべてのＭＣＩは、?２〜?６の電荷と約２００ｅＶ以下の運動エネルギとを個別に有し、前記ＭＣＩは、約３０Åを超えて基板の表面内に侵入せず、基板上に層を形成する。