用于弹性体带的安装固定架

摘要

本发明涉及一种用于弹性体带的安装固定架，具体公开了一种安装固定架，该安装固定架适于将弹性体带安装在围绕半导体衬底支撑件的安装沟槽中，所述半导体衬底支撑件用于在等离子体处理室中支撑半导体衬底，所述安装固定架包括：环形环，其在所述环的外边缘上具有垂直延伸部并适于接纳所述弹性体带；以及被配置成附接到所述环形环的基板，所述基板具有多个径向延伸部，所述多个径向延伸部适于在与所述半导体衬底支撑件中的安装孔对应的位置接纳多个机械紧固件。

主权项

一种安装固定架，其适于将弹性体带安装在围绕半导体衬底支撑件的安装沟槽中，所述半导体衬底支撑件用于在等离子体处理室中支撑半导体衬底，所述安装固定架包括：环形环，其具有在所述环的外边缘上的垂直延伸部并适于接纳所述弹性体带；以及被配置成附接到所述环形环的基板，所述基板具有多个径向延伸部，所述多个径向延伸部适于在与所述半导体衬底支撑件中的安装孔对应的位置接纳多个机械紧固件。