溅镀靶及其制造方法

摘要

本发明之溅镀靶系以氧化铟及氧化锌作为主成分，含有In2O3(ZnO)m(式中，m=2~7之整数)所表示之六方晶层状化合物，且含有Sn元素及Zr元素，Sn元素相对于全部金属元素之比率多于2000ppm且为20000ppm以下。