具三条灵敏轴的转速感测器及制造此转速感测器的方法;ROTATION RATE SENSOR WITH THREE SENSITIVE AXES AND PROCESS TO MANUFACTURE A ROTATION RATE SENSOR

摘要

一种转速感测器用于检测出此转速感测器的旋转运动，其中该转速感测器具有：一第一感测器构造，其具有一第一振动质量块，一第二感测器构造，其具有一第二振动质量块，及一驱动构造，其与该第一振动质块和该第二振动质量块耦合；其中该第一感测器构造建构成用于检测出绕一第一旋转轴的一第一转速，该第二感测器构造建构成用于检测出绕一第二旋转轴的一第二转速，其中该第一振动质量块可被驱动成沿一第一振动方向的一第一驱动振动，其中该第二振动质量块可被驱动成沿一与第一振动方向不同的第二振动方向的一第二驱动振动，其中该第一旋转轴设成垂直于该第一振动方向，及该第二旋转轴设成垂直于该第二振动方向，其特征在于，该第二感测器构造建构成用于检测出绕一第三旋转轴的一第三转速，该第三旋转轴与该第二旋转轴不同且垂直于该第二振动方向。