METHOD OF DIFFUSION-BOND POWDER METALLURGY SPUTTERING TARGET

摘要

본 발명은 스퍼터링 타겟 조립체 및 이들의 조립체, 특히 분말로 제조된 타겟의 제조 방법에 관한 것이다. 분말은 진공 열간 프레스를 사용함으로써 백킹 플레이트에 부착되고, 분말은 바람직하게는 비평면 표면과 접촉하고, 적어도 약 95％의 밀도로 압축되며, 실질적으로 동시에 백킹 플레이트에 확산 결합된다.