发明名称 多维位移平台
摘要 本发明涉及一种多维位移平台,包括:底座;第一固定台,架设在底座上;第二固定台;第一运动台,位于第一固定台和第二固定台之间,与第一固定柱穿设;第二运动台,利用第二固定柱架设在第一运动台上;第一调整台,利用调整螺丝与第二运动台相接设,并且利用调整螺丝调节第一调整台与第二运动台之间的倾角;第二调整台,利用纵向调整器与第一调整台相接设,第二调整台利用纵向调整器相对第一调整台进行纵向移动;旋转调整台,利用横向调整器与第二调整台相接设,旋转调整台利用横向调整器相对第二调整台进行横向移动;平板,利用旋转调整台进行旋转调节;水箱,置于平板上。本发明多维位移平台实现了方便和精确的对电离室位置的多维调节。
申请公布号 CN104690699A 申请公布日期 2015.06.10
申请号 CN201510112074.9 申请日期 2015.03.13
申请人 中国计量科学研究院 发明人 金孙均;王坤;苌雪;黄骥;范耀东
分类号 B25H1/00(2006.01)I;H01J47/02(2006.01)I 主分类号 B25H1/00(2006.01)I
代理机构 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 代理人 李楠
主权项 一种多维位移平台,其特征在于,所述多维位移平台包括:底座,用于固定和平动;第一固定台,架设在所述底座上;第二固定台,利用第一固定柱架设在所述第一固定台上;第一运动台,位于所述第一固定台和第二固定台之间,并且与所述第一固定柱穿设;第二运动台,位于所述第二固定台之上,并且利用第二固定柱架设在所述第一运动台上;第一调整台,利用调整螺丝与所述第二运动台相接设,并且利用所述调整螺丝调节所述第一调整台与所述第二运动台之间的倾角;第二调整台,利用纵向调整器与所述第一调整台相接设,所述第二调整台利用所述纵向调整器相对所述第一调整台进行纵向移动;旋转调整台,利用横向调整器与所述第二调整台相接设,所述旋转调整台利用所述横向调整器相对所述第二调整台进行横向移动;平板,与所述旋转调整台相连接,所述平板利用所述旋转调整台进行旋转调节;水箱,置于所述平板上。
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