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<p>본 발명의 일 실시예는 식각액 조성물에 관한 것으로서, 상기 조성물의 총 중량에 대하여 과황산염 0.5 내지 20 중량%, 불소화합물 0.01 내지 2 중량%, 무기산 1 내지 10 중량%, 고리형 아민화합물 0.5 내지 5 중량%, 한 화합물에 아미노기와 술폰산기를 동시에 갖는 화합물 0.1 내지 10.0 중량%, 유기산 또는 그의 염 0.1 내지 15.0 중량%, 그리고 전체 조성물의 총 중량이 100중량%가 되도록 하는 물을 포함하는 식각액 조성물을 제공한다.</p> |
