一种全固态薄膜锂离子电池负极及其制备方法

摘要

本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池负极及其制备方法，全固态薄膜锂离子电池负极包括电极基片、覆盖在电极基片表面的负极薄膜，特别是，所述的负极薄膜为通过射频磁控溅射方法形成的纳米硅薄膜。本发明采用纳米硅薄膜作为负极薄膜，其具有非常高的质量比容量（接近4000mAh/g），是理想的负极材料。本发明的电池负极具有非常优异的充放电循环可逆性，电池使用寿命长。

主权项

一种全固态薄膜锂离子电池负极的制备方法，其特征在于：所述的全固态薄膜锂离子电池负极包括电极基片、覆盖在所述电极基片表面的负极薄膜，所述的负极薄膜为通过射频磁控溅射方法形成的纳米硅薄膜，所述的制备方法包括如下步骤：①、以相对密度大于等于99.8%、纯度大于等于99.999%的单晶硅作为靶材，以电极基片为衬底，安装好靶材和基片后，关闭溅射室，将溅射室抽真空至1.0×10^‑4Pa或以下，充入1个大气压的氩气，再将室内气体压强抽至0.1~3Pa；②、预溅射，以清理靶材表面的氧化层和杂质；③、设定溅射功率范围为1W/cm²~6W/cm²，靶基距离40mm~100mm，溅射时间为2~10小时，形成纳米硅薄膜，所述纳米硅薄膜的厚度为0.01~2微米，所述纳米硅薄膜的放电质量比容量大于3500mAh/g，所述纳米硅薄膜按10C充放电100周，容量保持率大于90%。