method of forming pattern structure

摘要

본 발명은 패턴 구조체 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 구조체 형성 방법은 기판 상에 함몰부를 갖는 박막 패턴을 형성하는 것, 박막 패턴에 박막 패턴의 하부를 노출시키는 보호막을 형성하는 것, 그리고 노출된 박막 패턴의 하부를 선택적으로 액처리하는 것을 포함한다.