表面弹性波产生装置、收发装置及其产生方法;SURFACE ELASTIC WAVE GENERATOR, TRANSCEIVER, AND GENERATION METHOD THEREOF

摘要

一种表面弹性波产生装置，包括基板。第一导电型区域，形成于基板中。第二导电型掺杂区域，包括至少一个掺杂图案，掺杂于第一导电型区域的表面，藉由施加逆向偏压至第一导电型区域与第二导电型掺杂区域之间，使两区域的接面产生空乏电容，并且输入讯号至第一导电型区域或第二导电型掺杂区域，以在基板上产生表面弹性波。此外，一种表面弹性波的收发装置与产生方法亦被提及。