吸附台、贴合装置及贴合基板之制造方法

摘要

实施形态之吸附台包括：载置部，其载置第1基板；及排气部，其将上述第1基板与上述载置部之间排气。;上述载置部具有：第1壁部，其设置于上述载置部之一端面之外缘侧且呈环状；及第2壁部，其设置于上述第1壁部之内侧且呈环状。;上述排气部具有：第1控制阀，其设置于上述第1壁部与上述第2壁部之间之第1区域和上述排气部之间；第2控制阀，其设置于上述第2壁部之内侧之第2区域与上述排气部之间；及控制部，其控制上述第1控制阀与上述第2控制阀。;上述控制部控制上述第1控制阀及上述第2控制阀，交替地进行上述第1区域及上述第2区域中之至少一区域中之上述第1基板之吸附与上述第1基板之吸附之解除。;上述控制部于进行上述第1区域及上述第2区域中之任一区域中之上述第1基板之吸附之解除的期间，进行另一区域中之上述第1基板之吸附。