一种微型电阻型湿度传感器芯片及其传感器制备方法

摘要

本发明提供了一种微型电阻型湿度传感器芯片及其传感器制备方法。是一种利用硅工艺在玻璃衬底上实现微型电阻型湿度传感器芯片器件，包括敏感电极及涂布在其上的敏感料。本发明由于采用了与集成电路工艺完全兼容的加工技术，而且选用了成本低廉的玻璃为基片，使整个芯片的工艺流程简单可靠、成本低、易于实现批量生产。此器件反应时间、湿滞回差、一致性等方面的指标均高于传统方式生产的元件。

主权项

一种微型电阻型湿度传感器芯片，包括敏感电极及涂布在其上的敏感料，其特征在于：所述敏感电极及涂布在其上的敏感料是在以玻璃为基底的。